实现这一间距，以🎦及所需的套刻精⏲🌚度（<0🕊.5微米）、硅通✌。
历史上，🥛🚱当垂直互连间🇧🇿距远大于顶部金属📫间距时，🤣。
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实现这一间距，以🎦及所需的套刻精⏲🌚度（<0🕊.5微米）、硅通✌。
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